Entegris

Entegris ontstond in 1999 uit de fusie van Fluoroware en Empak en is gevestigd in Billerica, Massachusetts. In plaats van machines verkoopt het alles eromheen: de FOUP-containers waarin wafers worden vervoerd, filters, gas- en vloeistofleidingsystemen, speciale chemicaliën en – sinds de overname van CMC Materials in 2022 – slurries voor chemisch-mechanisch polijsten (CMP).

Het draait om contaminatiebeheersing. Bij moderne procesgeneraties worden onzuiverheden in enkele atomen geteld en bederft één deeltje op de verkeerde plek de chip. Materialen van Entegris doorlopen vrijwel elke stap in een foundry, grotendeels ongezien, waardoor het een van de meest alomtegenwoordige en tegelijk minst zichtbare leveranciers is van zowel verpakkers als waferfabrikanten.