Entegris
Mer info
- År
- 1999
- Typ
- Processmaterial och kontaminationskontroll
Bolaget som levererar renheten snarare än maskinerna — filtren, dunkarna och kemin som håller en fab fri från smuts.
Entegris bildades 1999 genom en sammanslagning av Fluoroware och Empak och sitter i Billerica, Massachusetts. I stället för maskiner säljer bolaget det som omger dem: FOUP-lådorna som wafers transporteras i, filter, gas- och vätskesystem, specialkemikalier och — efter köpet av CMC Materials 2022 — slipvätskor för kemisk-mekanisk polering (CMP).
Poängen är kontaminationskontroll. Vid moderna noder räknas föroreningar i enstaka atomer, och en enda partikel på fel ställe förstör chipet. Entegris material passerar genom nästan varje steg i en foundry, oftast osett, vilket gör bolaget till en av de mest spridda men minst synliga leverantörerna till både kapslings- och wafertillverkarna.