EUV-litografi
Att rita kretsmönster med ljus på 13,5 nanometers våglängd. Nederländska ASML är den enda tillverkaren av maskinerna, vilket gör dem till en geopolitisk fråga.
Ljuset skapas genom att skjuta en laser på smälta tenndroppar femtiotusen gånger i sekunden så att de förångas till plasma. Vid den våglängden absorberas strålningen av allt, inklusive luft och vanligt glas, så hela strålgången ligger i vakuum och optiken består av speglar med dussintals atomtunna lager från Zeiss — några av de planaste ytor mänskligheten tillverkat. En maskin kostar runt 150 miljoner dollar, väger som ett par bussar och levereras i flera flygplanslaster. Tekniken nådde volymproduktion 2019 och är förutsättningen för allt under sju nanometer. Nästa generation, High-NA, kostar det dubbla och har börjat installeras hos Intel och TSMC.