Screen Holdings
Meer info
- Jaar
- 1943 (als Dainippon Screen)
- Type
- Productieapparatuur voor halfgeleiders
Het bedrijf uit Kyoto dat de wafer tussen elke stap schoonspoelt – en dat zijn naam ooit ontleende aan de drukkerij.
Screen Holdings heette tot 2014 Dainippon Screen en werd in 1943 in Kyoto opgericht. De wortels liggen in fotogravure en zeefdruk, vandaar de naam, maar het zwaartepunt ligt allang bij halfgeleiderapparatuur: vooral reiniging per wafer en coater/developer-tracks die rond elke lithografiestap de fotoresist aanbrengen en ontwikkelen.
Reiniging is onzichtbaar maar onverbiddelijk: een deeltje op het oppervlak wordt een defect zodra de volgende laag wordt geschreven, en bij EUV-generaties zijn de toleranties zo krap dat één stofje een chip kan bederven. Screen deelt de reinigingsmarkt vooral met Tokyo Electron.