Axcelis

Axcelis Technologies uit Beverly, Massachusetts, werd in 2000 afgesplitst van Eaton Corporation en richtte zich uitsluitend op ionenimplantatie. Bij deze stap worden geladen atomen – boor, fosfor, arseen – versneld en in het siliciumrooster geschoten, waardoor de gedoteerde gebieden ontstaan waaruit een transistor bestaat.

In tegenstelling tot de meeste apparatenbouwers maakt Axcelis vrijwel alleen implanters, onder de merknaam Purion, waarmee het vooral concurreert met Applied Materials. Een onverwachte meewind kwam uit de vermogenselektronica: siliciumcarbide vraagt om diepe implantaties met hoge dosis, waar de machines van het bedrijf goed voor geschikt zijn. Zo groeide een conjunctuurgevoelige niche uit tot groeimotor.