Axcelis
Mer info
- År
- 2000
- Typ
- Jonimplantationsutrustning
Amerikanskt bolag som gör en enda sak — skjuter in dopatomerna som gör kislet till en transistor.
Axcelis Technologies i Beverly, Massachusetts, knoppades av från Eaton Corporation år 2000 och renodlade sig till jonimplantation. Steget går ut på att accelerera laddade atomer — bor, fosfor, arsenik — och skjuta in dem i kiselgittret, vilket skapar de dopade områden som en transistor består av.
Till skillnad från de flesta utrustningsbolag gör Axcelis nästan bara implanter, under varumärket Purion, och konkurrerar där främst med Applied Materials. En oväntad medvind kom med kraftelektroniken: kiselkarbid kräver djupa, högdoserade implantationer som passar bolagets maskiner, vilket gjorde en annars cyklisk nisch till en tillväxtmotor.