SCREENホールディングス

2014年まで大日本スクリーン製造を名乗り、1943年に京都で創業した。出発点は写真製版とスクリーン印刷で、社名もそこから来ている。ただ現在の重心は半導体装置、とりわけ枚葉式のウェーハ洗浄と、リソグラフィ工程の前後でフォトレジストを塗布・現像するコータ／デベロッパである。

洗浄は目立たないが容赦のない工程だ。表面に残った粒子は次の層を描く際に欠陥となり、EUV世代では許容値が極端に厳しく、1粒の塵がチップを駄目にしうる。洗浄分野では主に東京エレクトロンと市場を分け合っている。