東京エレクトロン (Tokyo Electron)
詳細情報
- 年
- 1963
- 種類
- 半導体製造装置
TEL:日本最大の半導体製造装置メーカーで、ASMLの装置が露光する前のウェハにフォトレジストを塗る会社。
1963年に東京で、米国製の半導体装置を日本に輸入販売する商社として始まった。1980年代に自社での装置開発に乗り出し、現在ではウェハのエッチング、成膜、洗浄の装置を手がける。Applied MaterialsやLam Researchと同じ市場である。
最も強いのは、感光性レジストを塗布・現像するコータ/デベロッパだ。EUVリソグラフィでは、実質的に必ずTELのトラックがASMLのスキャナに接続される。ほとんど話題にならない、ほぼ独占状態である。2013年に発表されたApplied Materialsとの合併は、米国の独占禁止当局の圧力を受けて2015年に断念された。当局は、止める価値があると判断したらしい。