1980年にカリフォルニア州フレモントで、エンジニアのデビッド・K・ラムが創業した。ラムはそれ以前にテキサス・インスツルメンツやヒューレット・パッカードなどで働いていた。最初のヒット作は自動プラズマエッチング装置で、以来エッチが事業の中心である。ASMLのスキャナーがパターンを露光した後、それをシリコンに彫り込むのは、多くの場合ラムのチャンバーだ。
2012年のノベラス買収で成膜分野でも強い地位を得た。2015年に提案されたKLAとの合併は、独占禁止当局の難色で翌年に断念された。数百層を深い穴一本で掘り抜く3D NANDの登場により、ラムの得意分野は、工程全体で最も難しい一段になった。