Entegris
詳細情報
- 設立
- 1999年
- 種類
- プロセス材料・汚染管理
機械ではなく清浄さを供給する会社。工場から塵を遠ざけるフィルター、容器、化学薬品を手がける。
Entegrisは1999年にFluorowareとEmpakが合併して発足し、マサチューセッツ州ビルリカに本社を置く。機械は売らず、その周辺にあるものを売る。ウェハーの搬送に使うFOUPキャリア、フィルター、ガスと液体の供給システム、特殊化学品、そして2022年にCMC Materialsを買収してからは化学機械研磨（CMP）用のスラリーだ。
要は汚染管理である。最先端のノードでは不純物が原子単位で数えられ、間違った場所に粒子が1つあるだけでチップは台無しになる。Entegrisの材料はファウンドリ内のほぼすべての工程を通過するが、ほとんど目に触れない。パッケージング側にもウェハーメーカーにも浸透しながら、最も目立たない供給元の一つだ。