EUV litografi
Devre desenlerini 13,5 nanometre dalga boyunda ışıkla basmak. Makineleri yalnızca Hollandalı ASML üretiyor ve bu da konuyu jeopolitik bir mesele yapıyor.
Işık, erimiş kalay damlacıklarına saniyede elli bin kez lazer ateşlenerek, damlacıkların plazmaya dönüşmesiyle üretilir. Bu dalga boyunda ışınımı her şey soğurur; hava ve sıradan cam dahil. Bu yüzden tüm ışın yolu vakumdadır ve optik, Zeiss'ın düzinelerce atom inceliğindeki katmandan inşa ettiği aynalardan oluşur; insanlığın ürettiği en düz yüzeyler arasındadırlar. Bir makine yaklaşık 150 milyon dolara mal olur, bir iki otobüs ağırlığındadır ve birkaç uçak yüküyle taşınır. Teknoloji 2019'da seri üretime girdi ve yedi nanometrenin altındaki her şeyin temelini oluşturuyor. Sonraki nesil High-NA iki kat pahalıdır ve Intel ile TSMC'de kurulmaya başlandı.