Litografia EUV
Imprimir padrões de circuito com luz de comprimento de onda de 13,5 nanômetros. A holandesa ASML é a única fabricante das máquinas, o que as transforma em questão geopolítica.
A luz é produzida disparando um laser contra gotas de estanho fundido cinquenta mil vezes por segundo, até vaporizarem em plasma. Nesse comprimento de onda, a radiação é absorvida por tudo, inclusive ar e vidro comum; por isso todo o caminho do feixe fica em vácuo e a óptica é feita de espelhos com dezenas de camadas de espessura atômica, produzidos pela Zeiss — entre as superfícies mais planas que a humanidade já fabricou. Uma máquina custa cerca de US$ 150 milhões, pesa como dois ônibus e viaja em vários voos cargueiros. A tecnologia entrou em produção em volume em 2019 e sustenta tudo abaixo de sete nanômetros. A próxima geração, High-NA, custa o dobro e já começou a ser instalada na Intel e na TSMC.