Litografia EUV
Drukowanie wzorów układów światłem o długości fali 13,5 nanometra. Jedynym producentem tych maszyn jest holenderski ASML, co czyni je kwestią geopolityczną.
Światło powstaje, gdy laser strzela pięćdziesiąt tysięcy razy na sekundę w krople ciekłej cyny, zamieniając je w plazmę. Przy tej długości fali promieniowanie pochłania wszystko, także powietrze i zwykłe szkło, więc cała droga wiązki biegnie w próżni, a optyką są lustra zbudowane przez Zeiss z dziesiątek warstw o grubości atomów — jedne z najgładszych powierzchni, jakie ludzkość wyprodukowała. Jedna maszyna kosztuje około 150 milionów dolarów, waży tyle co kilka autobusów i jest wysyłana kilkoma samolotami cargo. Technologia weszła do produkcji seryjnej w 2019 roku i leży u podstaw wszystkiego poniżej siedmiu nanometrów. Następna generacja, High-NA, kosztuje dwa razy tyle, a jej instalacje ruszyły w Intelu i TSMC.