Twinscan
Rodzina skanerów naświetlających ASML — konstrukcja z podwójnym stołem (jeden wafel jest naświetlany, gdy następny jest mierzony), co daje dwukrotnie wyższą przepustowość.
Trzy linie: NXT (DUV z immersją, 193 nm), NXE (EUV, 0,33 NA), EXE (High-NA EUV, 0,55 NA, pierwsza dostawa w 2023 roku do Intela za ok. 380 mln dolarów). NXE:3800E osiąga ok. 190 wafli na godzinę. NXT:2100i to dominujący koń roboczy w każdej fabryce dla warstw bez EUV. Struktury poniżej 30 nm wymagają w DUV wielokrotnego naświetlania → 4 ekspozycje na warstwę.