Lam Research
Meer info
- Bedenker
- David K. Lam
- Jaar
- 1980
- Type
- Halfgeleiderapparatuur
De machinebouwer die wegsnijdt wat de lithografie heeft getekend; plasma-etsen is zijn thuisbasis.
Opgericht in 1980 in Fremont, Californië, door ingenieur David K. Lam, die eerder onder meer bij Texas Instruments en Hewlett-Packard werkte. De eerste hit was een geautomatiseerde plasma-etser, en etsen is sindsdien de kern gebleven: nadat een ASML-scanner het patroon heeft belicht, is het vaak een Lam-kamer die het in het silicium snijdt.
De overname van Novellus in 2012 bracht een sterke positie in depositie. Een voorgenomen fusie met KLA in 2015 werd een jaar later afgeblazen omdat toezichthouders dwarslagen. Met 3D NAND, waar honderden lagen door één diep gat moeten worden geëtst, werd Lams specialiteit ineens de moeilijkste stap van het hele proces.