Twinscan
De belichtingsscannerfamilie van ASML — met een dubbel waferstation (de ene wafer wordt belicht terwijl de volgende wordt gemeten) voor een verdubbelde doorvoer.
Drie lijnen: NXT (DUV-immersie 193 nm), NXE (EUV 0,33 NA) en EXE (High-NA EUV 0,55 NA, eerste levering in 2023 aan Intel voor ~380 miljoen dollar). De NXE:3800E haalt ~190 wafers per uur. De NXT:2100i is het dominante werkpaard in elke fab voor niet-EUV-lagen. Structuren onder 30 nm vereisen bij DUV multipatterning → 4 belichtingen per laag.