Aixtronは1983年、アーヘン近郊のヘルツォーゲンラートで、アーヘン工科大学（RWTH）を母体に創業した。専門はMOCVD（有機金属気相成長）で、高温のウェハの上でガスを分解し、GaNなどの化合物半導体の原子層を積み上げていく。
LED、マイクロLEDディスプレイ、レーザー、炭化ケイ素パワー半導体はこうして生まれる。市場を分け合うのは主に米国のVeecoである。2016年には中国企業による買収が、安全保障上の理由で米国当局に阻止された。のちの半導体戦争の先触れだった。顧客にはWolfspeedなどSiCトランジスタのメーカーも含まれる。