Litografía EUV
Imprimir los patrones de un circuito con luz de 13,5 nanómetros de longitud de onda. La neerlandesa ASML es la única que fabrica las máquinas, lo que convierte el asunto en una cuestión geopolítica.
La luz se genera disparando un láser contra gotas de estaño fundido cincuenta mil veces por segundo hasta vaporizarlas en plasma. A esa longitud de onda la radiación la absorbe todo, incluidos el aire y el vidrio corriente, así que el camino óptico entero va en vacío y las lentes son en realidad espejos de decenas de capas de espesor atómico fabricados por Zeiss: de las superficies más planas que ha producido la humanidad.
Una máquina cuesta unos 150 millones de dólares, pesa como un par de autobuses y se entrega en varios aviones. La tecnología llegó a producción en volumen en 2019 y sostiene todo lo que está por debajo de siete nanómetros. La siguiente generación, High-NA, cuesta el doble y ya se instala en Intel y TSMC.