Tokyo Electron
Подробнее
- Год
- 1963
- Тип
- Полупроводниковое оборудование
TEL: крупнейший японский производитель оборудования для чиповых фабрик — именно он наносит на пластину фоторезист, прежде чем машина ASML её экспонирует.
Всё началось в Токио в 1963 году с торгового дома, импортировавшего и продававшего в Японии американское полупроводниковое оборудование. В 1980-х компания начала выпускать собственные машины, и сегодня TEL делает установки для травления, осаждения и очистки пластин — на том же рынке, что Applied Materials и Lam Research.
Сильнее всего TEL в установках coater/developer, которые наносят и проявляют светочувствительный резист. В EUV-литографии трек TEL на практике всегда пристыкован к сканеру ASML — почти монополия, о которой редко вспоминают. Слияние с Applied Materials, объявленное в 2013 году, было отменено в 2015-м под давлением американских антимонопольных органов, которые, видимо, решили, что его стоило остановить.