Screen Holdings
Więcej informacji
- Rok
- 1943 (jako Dainippon Screen)
- Typ
- Sprzęt do produkcji półprzewodników
Firma z Kioto, która myje wafel między każdym etapem — a nazwę wzięła kiedyś z branży poligraficznej.
Screen Holdings do 2014 roku działało jako Dainippon Screen i zostało założone w Kioto w 1943 roku. Jego korzenie tkwią w fotograwiurze i druku sitowym, stąd nazwa, ale od dawna ciężar działalności leży w sprzęcie półprzewodnikowym: przede wszystkim w czyszczeniu pojedynczych wafli oraz w liniach coater/developer, które nakładają i wywołują fotorezyst wokół każdego etapu litografii.
Czyszczenie jest niewidoczne, ale bezlitosne — cząstka pozostawiona na powierzchni staje się defektem, gdy zapisywana jest kolejna warstwa, a w technologii EUV tolerancje są tak małe, że jeden pyłek potrafi zniszczyć układ. Rynek czyszczenia Screen dzieli głównie z Tokyo Electron.