Mikrofon MEMS
Mikrofon pojemnościowy wytrawiony w krzemie, na tyle mały, że telefon może nosić ich trzy albo cztery.
Zasada jest ta sama co w każdym mikrofonie pojemnościowym: cienka membrana porusza się względem stałej elektrody i zmienia pojemność. Różnica polega na tym, że obie części powstają w procesach półprzewodnikowych i są zamknięte w jednej obudowie z miniaturowym układem ASIC, który odpowiada za wzmocnienie, a często także za konwersję A/C. Pierwsze komercyjne egzemplarze dostarczył Knowles na początku XXI wieku.
Wersje cyfrowe wystawiają sygnał PDM lub I²S bezpośrednio, więc nie łapią zakłóceń z płytki drukowanej. Znoszą lutowanie rozpływowe, a ich parametry są mniej rozrzucone niż w kapsułach elektretowych, dlatego opanowały telefony, słuchawki douszne i inteligentne głośniki. Poziom szumów nadal jest wyższy niż w porządnym mikrofonie studyjnym, ale telefon rzadko nagrywa w warunkach, w których miałoby to znaczenie.