Axcelis

Axcelis Technologies z Beverly w stanie Massachusetts wydzieliło się z Eaton Corporation w 2000 roku i zawęziło się do implantacji jonów. Ten etap przyspiesza naładowane atomy — bor, fosfor, arsen — i wstrzeliwuje je w sieć krystaliczną krzemu, tworząc domieszkowane obszary, z których zbudowany jest tranzystor.

W przeciwieństwie do większości producentów sprzętu Axcelis robi prawie wyłącznie implantery, pod marką Purion, konkurując tu głównie z Applied Materials. Niespodziewany wiatr w żagle przyszedł z elektroniki mocy: węglik krzemu wymaga głębokich implantów o dużej dawce, które pasują do maszyn firmy, zamieniając cykliczną niszę w silnik wzrostu.