MEMSマイクロフォン
シリコン上に作り込まれたコンデンサーマイクで、スマートフォンに3、4個載せられるほど小さい。
原理は通常のコンデンサーマイクと同じで、薄い振動板が固定された背面電極に対して動き、静電容量が変化する。違うのは、振動板も電極も半導体プロセスで作られ、増幅や、多くの場合はA/D変換まで受け持つ小型のASICと一緒にパッケージされている点だ。最初の商用製品は2000年代初頭にKnowlesが出荷した。
デジタル出力の品種はPDMやI²Sで直接信号を出すため、基板上で拾うノイズの影響を受けない。リフローはんだ付けに耐え、エレクトレットカプセルより個体差が小さいことから、スマートフォン、イヤホン、スマートスピーカーを席巻した。ノイズフロアは本格的なスタジオ用マイクより高いが、スマートフォンで録音する場面でそこが問題になることはまずない。