Twinscan
ASMLの露光スキャナーのシリーズ。ツインチャック方式（1枚を露光している間に次の1枚を測定する）でスループットを倍にする。
ラインは三つある。NXT（DUV液浸、193nm）、NXE（EUV、NA 0.33）、EXE（High-NA EUV、NA 0.55。2023年にIntelへ初納入、約3.8億ドル）。NXE:3800Eは毎時約190枚のウェハを処理する。NXT:2100iは、EUV以外の層向けにどの工場でも主力として使われている。30nm未満の微細な構造にはDUVでマルチパターニングが必要で、1層あたり4回の露光になる。