Litografia EUV
Stampa dei circuiti con luce a una lunghezza d'onda di 13,5 nanometri. L'olandese ASML è l'unico produttore delle macchine, il che le rende una questione geopolitica.
La luce si ottiene sparando un laser contro gocce di stagno fuso cinquantamila volte al secondo, così che si vaporizzino in plasma. A quella lunghezza d'onda la radiazione è assorbita da tutto, aria e vetro comune compresi: l'intero percorso del fascio sta quindi nel vuoto e l'ottica è fatta di specchi composti da decine di strati spessi pochi atomi, realizzati da Zeiss, tra le superfici più piane mai prodotte dall'uomo. Una macchina costa circa 150 milioni di dollari, pesa quanto un paio di autobus e viaggia in più voli cargo. La tecnologia è entrata in produzione di volume nel 2019 e sta alla base di tutto ciò che scende sotto i sette nanometri. La generazione successiva, High-NA, costa il doppio e ha iniziato a essere installata presso Intel e TSMC.