Twinscan Famille de scanners ASML
La famille de scanners de lithographie d'ASML — conception à double platine (une wafer est exposée pendant que la suivante est mesurée) pour doubler le débit.
Trois lignes : NXT (DUV à immersion 193 nm), NXE (EUV 0,33 NA), EXE (High-NA EUV 0,55 NA, première livraison en 2023 chez Intel pour environ 380 millions de dollars). Le NXE:3800E délivre environ 190 wafers/heure. Le NXT:2100i reste le cheval de trait dominant dans toutes les fabs pour les couches non-EUV. Les motifs sous 30 nm exigent du multi-patterning en DUV → 4 expositions par couche.